Masterarbeit Entwicklung Von Techniken Zur

Die Fraunhofer-Gesellschaft betreibt in Deutschland derzeit 76 Institute und Forschungseinrichtungen und ist die weltweit führende Organisation für anwendungsorientierte Forschung. Rund 30 000 Mitarbeitende erarbeiten das jährliche Forschungsvolumen von 2,9 Milliarden Euro.

Am Standort Erlangen gestalten die über 400 Mitarbeitenden des Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB anwendungsbezogene Forschung und Entwicklung zu innovativen Themen der Halbleitertechnologie und Leistungselektronik.

**Was Du bei uns tust**

Siliziumkarbid (4H-SiC) ist aufgrund seiner elektrischen und thermischen Eigenschaften das Material der Wahl für integrierte Bauelemente der Leistungselektronik und die Verfahren zur Realisierung solcher Bauelemente sind weitgehend etabliert. Neben dieser Anwendung wird Siliziumkarbid aufgrund seiner außergewöhnlichen mechanischen Eigenschaften aber zunehmend auch für mikromechanische Bauelemente interessant. Die Realisierung solcher Bauelemente stellt aber besondere Herausforderungen an die Fertigungstechniken, die noch nicht vollständig gelöst sind.

Diese Masterarbeit wird zusammen vom Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg und dem IISB betreut. Im Rahmen der Arbeit soll konkret untersucht werden, mit welchen Ätztechniken und -prozessen Strukturen für mikromechanische Komponenten aus Siliciumkarbid (SiC), genauer 4H-SiC, hergestellt werden können. Besonderer Fokus liegt dabei sowohl auf den zu erzielenden Ätzraten als auch auf die jeweils erreichbaren Geometrien: Ziele sind hier auf der einen Seite grundsätzlich hohe Ätzraten für den notwendigen Volumenabtrag, auf der anderen Seite aber auch eine gezielte Formgebung mittels anisotropem oder isotropem Materialabtrag, bei jeweils möglichst hoher Homogenität über die zu strukturierenden Wafer. Beide Anforderungen stellen große Herausforderungen an die üblicherweise am LEB/IISB eingesetzten Ätzprozesse dar. Neben einer umfassenden Literaturrecherche zur Strukturierung von 4H-SiC und der Bewertung der jeweiligen Ansätze für die Anwendung am LEB/IISB liegt der Schwerpunkt auf der experimentellen Planung und Durchführung von Strukturierungsprozessen an entsprechenden 4H-SiC-Wafern mit dem Ziel der Optimierung derselben. Die entsprechenden Arbeiten werden im Reinraum der Universität stattfinden, konkret vor allem an Anlagen zum reaktiven Ionenätzen (RIE). Abschließend soll eine Bewertung inklusive Potenzialabschätzung bzgl. einer produktnahen Realisierbarkeit von mikromechanischen Bauelementen aus 4H-SiC mit den am LEB/IISB zur Verfügung stehenden Strukturierungsverfahren erfolgen.

**Was Du mitbringst**
- Du studierst Maschinenbau, Produktionstechnik, (Wirtschafts-)Ingenieurwesen oder ein naturwissenschaftliches Fach und begeisterst Dich für Technik
- Du arbeitest Dich gerne in neue Themenfelder ein
- Dich zeichnet eine sehr strukturierte Arbeitsweise aus
- Du besitzt ein hohes Maß an Eigeninitiative und Teamgeist
- Sehr gute Deutschkenntnisse und gute Englischkenntnisse runden Dein Profil ab

**Was Du erwarten kannst**
- Vielseitige Aufgaben in der angewandten Forschung
- Aktive Mitarbeit bei Forschungsprojekten
- Gute Betreuung durch die wissenschaftlichen Mitarbeiter*innen
- Freundliches und engagiertes Team

Wir wertschätzen und fördern die Vielfalt der Kompetenzen unserer Mitarbeitenden und begrüßen daher alle Bewerbungen - unabhängig von Alter, Geschlecht, Nationalität, ethnischer und sozialer Herkunft, Religion, Weltanschauung, Behinderung sowie sexueller Orientierung und Identität. Schwerbehinderte Menschen werden bei gleicher Eignung bevorzugt eingestellt.

Die Stelle ist auf die Dauer der Bearbeitungszeit befristet. Es wird keine Vergütung gezahlt.

Mit ihrer Fokussierung auf zukunftsrelevante Schlüsseltechnologien sowie auf die Verwertung der Ergebnisse in Wirtschaft und Industrie spielt die Fraunhofer-Gesellschaft eine zentrale Rolle im Innovationsprozess. Als Wegweiser und Impulsgeber für innovative Entwicklungen und wissenschaftliche Exzellenz wirkt sie mit an der Gestaltung unserer Gesellschaft und unserer Zukunft.

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Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Kennziffer: 61213